Первые слободы упоминаются в источниках уже в XI веке. Они часто представляли собой поселения около города-крепости. С XVI века стали появляться слободы служилых людей —
стрельцов, пушкарей, а также ремесленников, ямщиков и других. Они так и назывались — Стрелецкая, Ямская, Торговая, Солдатская.
В слободах селились и те, кто приехал из других стран. В старину всех иностранцев в
России звали немцами — независимо от национальности, поэтому места, где они обитали, стали звать
Немецкими слободами. Первое подобное поселение в
Москве возникло в начале XVI века. При
Иване Грозном приезжим позволили свободно торговать, Немецкая слобода росла и богатела. При
Петре I она располагалась на берегу реки Яузы, в юные годы царь часто ее посещал. Кроме Немецкой, в XVII веке в Москве также были Греческая, Татарская и другие слободы.
В XVIII веке после нескольких реформ слободы превратились в обычные села и деревни, а те, что располагались в черте города, стали кварталами. В XIX веке этим термином стали называть промышленные поселки при городах. Многие из поселений сохранили старинные наименования до наших дней, например село Павловская Слобода в Московской области.